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边缘刻蚀及去PSG机
边缘刻蚀及去PSG机
特点:通过高可靠进程降低碎片率有效减少化学药品使用量预留扩展工艺借口,可自由进行工艺改进和升级拥有完善的过程监控系统和友好的可视化操作界面自动补充药液实现稳定过程控制高扩展性模块制程线C采用独特脉涌技术,通过表面张力控制抑制翻液量,达到良好的边缘刻蚀效果规格:轨道数量:8道硅片尺寸:125mm或15
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边缘刻蚀及去PSG机
特点:通过高可靠进程降低碎片率有效减少化学药品使用量预留扩展工艺借口,可自由进行工艺改进和升级拥有完善的过程监控系统和友好的可视化操作界面自动补充药液实现稳定过程控制高扩展性模块制程线C采用独特脉涌技术,通过表面张力控制抑制翻液量,达到良好的边缘刻蚀效果规格:轨道数量:5道硅片尺寸:125mm或15
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